Tisztaterek

2020.06.23. 12:51

Habár az ESD védelem itt leírt alapvető módszerei a legtöbb környezetben alkalmazhatók, a tisztatérben történő gyártási folyamatok egyedi vizsgálatot igényelnek.

 

Sok tárgy, amely a félvezető gyártás szerves részét képezi (kvarc, üveg, műanyag, kerámia) eredendően töltést generál. Mivel ezek az anyagok szigetelők, ezért a töltést földeléssel nem lehet elvezetni. Sok ESD védelmi anyag tartalmaz szénrészecskéket vagy felületaktív adalékokat, ami miatt időnként használatuk tisztaterekben korlátozott. A dolgozók mobilitása és a tisztatéri ruházat használata gyakran megnehezíti a csuklópántok használatát. Ilyen körülmények között az ionizáció és a padló-lábbeli rendszer kulcsfegyverré válik az elektrosztatikus töltéssel szemben.

Forrás:

Fundamentals of Electrostatic Discharge
Part Two—Principles of ESD Control – ESD Control Program Development
© 2013, EOS/ESD Association, Inc., Rome, NY

https://www.esda.org/esd-overview/esd-fundamentals/part-3-basic-esd-control-procedures-and-materials/

Partnereink